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一种SGTMOSFET器件的终端结构及其制造方法技术
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文档序号:36775779
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本发明公开了一种SGT MOSFET器件的终端结构及其制造方法,该终端结构包括N型衬底(11)和形成于所述N型衬底(11)上的N型外延层(12),所述N型外延层(12)包含有终端区,所述终端区内形成用于提升耐压、缩短终端宽度且增加有源区面积...
该专利属于重庆云潼科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆云潼科技有限公司授权不得商用。
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