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具有邻近于扫描镜的相对侧而悬臂的致动器对的微机电系统(MEMS)扫描仪技术方案
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下载具有邻近于扫描镜的相对侧而悬臂的致动器对的微机电系统(MEMS)扫描仪的技术资料
文档序号:36769719
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一种微机电系统(MEMS)扫描仪(200),其具有与扫描镜(206)的侧面(204)相邻的致动器对(202)。致动器对(202)包括个体致动器(210),其物理上邻近于所述扫描镜的相对侧(204)定位,并且在激活时,向扫描镜(206)中诱发...
该专利属于微软技术许可有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过微软技术许可有限责任公司授权不得商用。
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