具有邻近于扫描镜的相对侧而悬臂的致动器对的微机电系统（MEMS）扫描仪技术方案

一种微机电系统(MEMS)扫描仪(200)，其具有与扫描镜(206)的侧面(204)相邻的致动器对(202)。致动器对(202)包括个体致动器(210)，其物理上邻近于所述扫描镜的相对侧(204)定位，并且在激活时，向扫描镜(206)中诱发角旋转。扭转梁挠曲件(214)从框架结构(212)悬置扫描镜(206)，并且促进扫描镜(206)绕旋转轴(218)的旋转。在MEMS扫描仪的操作期间，驱动信号可以被施加到致动器对(202)，以使得致动器对的每个个体致动器(210)一致变形，由此生成一定程度的尖端偏转。由于扭转梁挠曲件(214)经由杠杆臂被连接到致动器(210)的尖端，所以该尖端偏转用作致动器行程，所述致动器行程向扭转梁挠曲件(214)中诱发扭转变形——由此引起扫描镜(206)绕旋转轴(218)的旋转。镜(206)绕旋转轴(218)的旋转。镜(206)绕旋转轴(218)的旋转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有邻近于扫描镜的相对侧而悬臂的致动器对的微机电系统(MEMS)扫描仪

技术介绍

[0001]微机电系统(MEMS)扫描设备通过向被机械耦合到扫描镜的致动器施加驱动信号来调制扫描镜的位置。针对MEMS扫描设备的一个重要设计目标是减小形状因子，以辅助使向其安装MEMS扫描设备的产品小型化。例如，MEMS扫描设备通常被用在头戴式显示器(HMD)设备应用中，并且使HMD设备组件小型化是该行业内的主要目标。减小MEMS扫描设备的总体形状因子(例如，尺寸)明显地推进了该目标。针对MEMS扫描设备的另一重要设计目标是经由将驱动信号应用于致动器，使在扫描镜处可实现的角旋转量最大化。通常，在扫描镜内可实现的角旋转量与在致动器内可实现的可致动行程量直接相关。
[0002]遗憾的是，这两个设计目标往往彼此冲突，因为较大的致动器通常比较小的致动器产生更多的可致动行程。为了例示说明这一点，考虑在致动器中可实现的可致动行程的量倾向于与增加的致动器长度纵向和增加的薄膜面积(例如，在其上沉积压电材料)两者相关地增加。出于该原因，常规的MEMS扫描设备常常包括延伸远超过扫描镜的两个相对端的薄膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种微机电系统(MEMS)扫描设备，包括：扫描镜，其包括：第一端和与所述第一端相对的第二端，以及第一侧和与所述第一侧相对的第二侧；第一扭转梁挠曲件，其从框架结构机械地悬置所述扫描镜的所述第一端；第二扭转梁挠曲件，其从所述框架结构机械地悬置所述扫描镜的所述第二端；第一致动器对，其至少部分地邻近于所述扫描镜的所述第一侧来设置；以及第二致动器对，其至少部分地邻近于所述扫描镜的所述第二侧来设置。2.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)扫描设备，其中：所述第一致动器对包括：在所述框架结构与所述第一扭转梁挠曲件之间延伸的第一致动器，以及在所述框架结构与所述第二扭转梁挠曲件之间延伸的第二致动器臂；以及所述第二致动器对包括：在所述框架结构与所述第一扭转梁挠曲件之间延伸的第三致动器，以及在所述框架结构与所述第二扭转梁挠曲件之间延伸的第四致动器。3.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)扫描设备，还包括：第一压电膜，其跨所述第一致动器对连续地延伸；以及第二压电膜，其跨所述第二致动器对连续地延伸。4.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)扫描设备，其中，所述框架结构包括：朝向所述扫描镜的所述第一侧突出的第一致动器支撑件，以及朝向所述扫描镜的所述第二侧突出的第二致动器支撑件。5.根据权利要求4所述的微机电系统(MEMS)扫描设备，其中：所述第一致动器在第一方向上从所述第一致动器支撑件延伸，所述第二致动器在第二方向上从所述第一致动器支撑件延伸，所述第三致动器在所述第一方向上从所述第二致动器支撑件延伸，以及所述第四致动器在所述第二方向上从所述第二致动器支撑件延伸。6.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)扫描设备，其中，在所述第一致动器对和所述第二致动器对内的个体致动器具有远离所述扫描镜的镜中线并且朝向所述扫描镜的所述第一端或所述第二端延伸的个体臂中线。7.一种装置，包括：扫描镜；至少一个扭转梁挠曲件，其从框架结构机械地悬置所述扫描镜的至少一端；至少一个致动器，其至少部分地邻近于所述扫描镜的至少一侧来设置；以及控制器，其被配置为向所述至少一个致动器提供驱动信号，其中，所述驱动信...

【专利技术属性】
技术研发人员：U，
申请(专利权)人：微软技术许可有限责任公司，
类型：发明
国别省市：