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电阻率值调整装置以及电阻率值调整方法制造方法及图纸
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文档序号:36768959
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电阻率值调整装置具备:中空纤维膜组件;液体供给管;液体排出管;气体供给管;气体排出管;旁通管,其以绕过中空纤维膜组件的方式与液体供给管以及液体排出管连通;以及第一止回阀,其设置于旁通管,并且流路的开度根据液体供给管侧与液体排出管侧的差压而变...
该专利属于DIC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过DIC株式会社授权不得商用。
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