电阻率值调整装置以及电阻率值调整方法制造方法及图纸

电阻率值调整装置具备：中空纤维膜组件；液体供给管；液体排出管；气体供给管；气体排出管；旁通管，其以绕过中空纤维膜组件的方式与液体供给管以及液体排出管连通；以及第一止回阀，其设置于旁通管，并且流路的开度根据液体供给管侧与液体排出管侧的差压而变化。供给管侧与液体排出管侧的差压而变化。供给管侧与液体排出管侧的差压而变化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电阻率值调整装置以及电阻率值调整方法


[0001]本专利技术涉及一种调整液体的电阻率值的电阻率值调整装置以及电阻率值调整方法。

技术介绍

[0002]在半导体或液晶的制造工序中，使用超纯水来清洗基板。在该情况下，若超纯水的电阻率值高，则会产生静电。由此，发生绝缘破坏或者微粒子再附着，对产品成品率显著地造成不良影响。为了解决这样的问题，提出了使用疏水性的中空纤维膜组件的方法。该方法使用中空纤维膜组件使二氧化碳或氨气等气体溶解于超纯水中。于是，通过解离平衡产生离子，通过该产生的离子，从而超纯水的电阻率值下降。
[0003]此外，在基板的清洗、切割等工序中，超纯水的流动变动剧烈。因此，在专利文献1中，提出了即使流量变动也使电阻率值稳定的技术。在专利文献1所记载的技术中，设置生成小流量的气体附加超纯水的中空纤维膜组件、和使大流量的超纯水通过的旁通管。然后，将所生成的气体附加超纯水和通过了旁通管的超纯水合流。由此，能够容易地调整超纯水的电阻率值。
[0004]但是，在专利文献1所记载的技术中，若超纯水成为低流量，则有时相对于绕过中空纤维膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电阻率值调整装置，其具备：中空纤维膜组件，其通过中空纤维膜而划分为被供给调整电阻率值的液体的液相侧区域和被供给调整电阻率值的调整气体的气相侧区域；液体供给管，其为了向所述液相侧区域供给所述液体而与所述液相侧区域连通；液体排出管，其为了从所述液相侧区域排出所述液体而与所述液相侧区域连通；气体供给管，其为了向所述气相侧区域供给所述调整气体而与所述气相侧区域连通；气体排出管，其为了从所述气相侧区域排出所述调整气体而与所述气相侧区域连通；旁通管，其以绕过所述中空纤维膜组件的方式与所述液体供给管以及所述液体排出管连通；以及第一止回阀，其设置于所述旁通管，并且流路的开度根据所述液体供给管侧与所述液体排出管侧的差压而变化。2.根据权利要求1所述的电阻率值调整装置，其中，在所述第一止回阀中，当所述液体供给管侧与所述液体排出管侧的差压成为第一工作开始压以下时，所述第一止回阀的所述流路开始变窄。3.根据权利要求1或2所述的电阻率值调整装置，其中，所述第一止回阀具有：主体，其具有朝向所述液体排出管侧的阀座；阀芯，其配置于所述阀座的所述液体排出管侧；以及弹簧，其将所述阀芯向所述阀座侧按压。4.根据权利要求1至3中任一项所述的电阻率值调整装置，其中，所述旁通管具有相互并联地配置的第一旁通管以及第二旁通管，在所述第一旁通管配置有所述第一止回阀，在所述第二旁通管未配置所述第一止回...

【专利技术属性】
技术研发人员：安西大二郎，羽田尚树，大井和美，
申请(专利权)人：DIC株式会社，
类型：发明
国别省市：