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提供了一种用于向等离子体腔室中使用的衬底支撑件的元件传输功率的变压器隔离器的装置。变压器隔离器的初级装置包括配置为与大地电气耦合的初级基板。初级铁氧体设置在初级基板上，并且初级铁氧体具有初级圆形通道。初级线圈被缠绕在初级圆形通道内。在初级铁...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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