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本申请涉及一种光罩拾取装置及光刻设备。光罩拾取装置包括安装座体、转动主体、拾取组件及感测组件。安装座体包括基座、第一驱动件及升降座；转动主体包括转动座及第二驱动件，转动座绕第一方向上的轴线转动安装于升降座的顶部，第二驱动件用以驱动转动座转动...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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