下载采用光波导作为浮栅电极的固态器件的技术资料

文档序号:36768031

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一种半导体器件包括可以以非易失性方式充电的浮栅。浮栅也被构造为光波导,并且可以光耦合到光子电路(如干涉仪)。光耦合到光子电路(如干涉仪)。光耦合到光子电路(如干涉仪)。
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