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检测半导体装置(10)的不良的超声波振动式不良检测装置(100)包括：超声波振子(42)；高频电源(40)；照相机(45)；以及控制部(50)，调整自高频电源(40)对超声波振子(42)供给的高频电力的频率，并且进行半导体装置(10)的不良...该专利属于雅马哈智能机器控股株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过雅马哈智能机器控股株式会社授权不得商用。
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