下载一种半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:36764521

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本发明公开了一种半导体器件及其制造方法,涉及半导体技术领域,以使得电容器所包括的下电极的阻抗满足预设方案的要求,提高电容器的工作性能。所述半导体器件包括:基底、电容器和支撑结构。电容器形成在基底上。支撑结构环绕在电容器所包括的下电极的外周。...
该专利属于真芯(北京)半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过真芯(北京)半导体有限责任公司授权不得商用。

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