温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种半导体晶圆检测系统，所述检测系统包括主光路通道和副光路通道，其中，主管路通道包括主通道相机、主光路管镜和分光镜II，副管路通道包括副通道相机、副光路管镜和分光镜III；所述检测系统还包括光源、准直系统、分光镜I、物镜和主...
该专利属于茂莱(南京)仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过茂莱(南京)仪器有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。