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本申请提供一种刻蚀设备，包括腔体壁、介质窗和第一隔离板，腔体壁和介质窗形成腔室，以在腔室内对待刻蚀结构进行刻蚀，腔体壁具有开口，开口用于第一隔离板从开口沿第一方向滑入腔室，使第一隔离板和腔体壁形成子腔室，这样，在子腔室中长时间刻蚀时，仅第一...
该专利属于江苏鲁汶仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器股份有限公司授权不得商用。

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