温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种具有角振动滤波特性的MEMS结构，包括陶瓷管壳、转接板、传感器芯片和胶水，所述转接板的底部固定安装在陶瓷管壳上，所述传感器芯片固定安装在转接板的中部。通过在外框与中心粘片板之间设置直角梁，使得外框在受到封装应力发生形变时，会...
该专利属于广东天目智芯传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东天目智芯传感科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。