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公开了一种半导体器件及其制造方法,其在漏电极设置第一导电柱和第二导电柱,第一导电柱连接至金属硅化物,通过金属硅化物连接漂移区,第二导电柱直接连接至漂移区。本发明提供的半导体器件及其制造方法设置两种导电柱引出漏电极,可在漂移区无漏掺杂区的情况...该专利属于矽力杰半导体技术(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽力杰半导体技术(杭州)有限公司授权不得商用。
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