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一种快速确定磷化铟切割片及其晶棒定位面取向的方法技术
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文档序号:36749915
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本申请涉及一种快速确定磷化铟切割片及其晶棒定位面取向的方法。该方法包括以下步骤:S1,采用手工抛光液对从磷化铟晶棒端面切取的(100)面切割片进行手工抛光;S2,将抛光过后的磷化铟切割片与第一腐蚀液接触后进行第一次腐蚀;S3,对第一次腐蚀后...
该专利属于北京铭镓半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京铭镓半导体有限公司授权不得商用。
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