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本实用新型提供一种晶棒拆码垛组件，包括：拆码垛机械装置以及容纳晶棒的周转箱；所述拆码垛机械装置移动轴前端设置一兼容性夹爪，所述兼容性夹爪包括设置在支撑架上夹取所述晶棒的晶棒夹具以及夹取所述周转箱的周转箱夹具，且所述晶棒夹具与所述周转箱夹具不...
该专利属于天津环博科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津环博科技有限责任公司授权不得商用。

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