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本发明提供了一种干刻尾气回收三氟化氮的方法及装置，属于废气处理领域，方法包括将含三氟化氮的干刻尾气鼓风至水喷淋塔洗涤，以脱除在刻蚀过程中产生的金属氟化物颗粒，获得第一流股；将所述第一流股加压至第一压力后冷却，采用第一吸附塔去除高沸点组分，并...
该专利属于上海森崚半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海森崚半导体科技有限公司授权不得商用。

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