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本申请提供一种KrF树脂及其制备方法和化学放大型光致抗蚀剂，涉及半导体领域。KrF树脂，其结构通式为：KrF树脂的制备方法，包括：将包括4
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该专利属于阜阳欣奕华材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阜阳欣奕华材料科技有限公司授权不得商用。

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