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本申请涉及硅基片加工技术领域，具体公开了一种CVD金刚石碳化硅基片自动开槽切割夹具，包括装料盘和给进机构，装料盘内沿水平方向设有横槽，横槽可拆卸连接有横条，横条垂直于横槽设置；给进机构包括丝杆滑动模组、推杆和电机，推杆与丝杆滑动模组一端可拆...
该专利属于贵州晟达雅科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贵州晟达雅科技有限公司授权不得商用。

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