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本实用新型涉及到一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐，该混合罐(207)内部为包括涡流混合道(216)、缓冲回流槽(217)和热水浴区域(218)的三层结构，在混合罐(207)的底部设有罐体入口(222)，顶部设有罐体出口(223)...该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及到一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐，该混合罐(207)内部为包括涡流混合道(216)、缓冲回流槽(217)和热水浴区域(218)的三层结构，在混合罐(207)的底部设有罐体入口(222)，顶部设有罐体出口(223)...