一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及到一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐，该混合罐(207)内部为包括涡流混合道(216)、缓冲回流槽(217)和热水浴区域(218)的三层结构，在混合罐(207)的底部设有罐体入口(222)，顶部设有罐体出口(223)，罐体入口(222)联通涡流混合道(216)，缓冲回流槽(217)联通加热氮气输入端口(214)，热水浴区域(218)联通超纯水输入端口(212)和超纯水输出端口(213)，罐体出口(223)联通混合后气液共存体输出端口(215)；混合罐(207)通过上安装块(220)和下安装块(221)夹持固定于外壳内。本实用新型专利技术的异丙醇和氮气混合罐稳定可控地提供液态异丙醇和加热氮气形成的混合液体，为晶圆快速干燥提供气体和液体氛围。为晶圆快速干燥提供气体和液体氛围。为晶圆快速干燥提供气体和液体氛围。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐


[0001]本技术涉及半导体设备领域，特别涉及到一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐。

技术介绍

[0002]在晶圆制造中采用湿法形式进行晶圆清洗占了很大部分，成为目前晶圆清洗的主流。基于半导体晶圆清洗技术的需求，晶圆干燥技术是不可或缺的，至今已因应不同的晶圆产品而有不同的晶圆干燥技术。在晶圆湿法清洗完成后需要对晶圆进行干燥，通常采用的是异丙醇IPA来实现对晶圆的干燥。晶圆干燥作为湿法清洗工艺为最后收尾的动作，需要确保有效的移除晶圆表面的残余水分以及表面洁净度的控制，这就要求对干燥的方法进行不断的优化并提升干燥效率，这就成为晶圆清洗设备与技术开发中需要特别去重视的点。对使用晶圆干燥工艺的多种方法中，而在指定的时间内有效进行批量干燥则会影响到整体晶圆清洗工艺整体的工作效率，故建立一种有效的干燥效率的晶圆干燥方法成为现在晶圆湿法清洗技术中需要特别重视的一个环节。
[0003]中国技术专利200910029506.4提到了一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，该专利中用设定压力的氮气将异丙醇液体打成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐，其特征在于，该混合罐(207)内部为包括涡流混合道(216)、缓冲回流槽(217)和热水浴区域(218)的三层结构，其中涡流混合道(216)为混合罐(207)中心设置的倒锥形空腔，在所述混合罐(207)的底部中心位置设有罐体入口(222)，所述混合罐(207)的顶部中心位置设有罐体出口(223)，所述罐体入口(222)联通所述涡流混合道(216)，所述缓冲回流槽(217)上方位置联通加热氮气输入端口(214)，所述混合罐(207)内的热水浴区域(218)联通超纯水输入端口(212)和超纯水输出端口(213)，所述罐体出口(223)联通混合后气液共存体输出端口(215)。2.根据权利要求1所述的一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐，其特征在于，所述混合罐(207)外形呈圆柱体，该混合罐(207)通过一个上安装块(220)和一个下安装块(221)上下夹持固定于一个外壳内。3.根据权利要求2所述的一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐，其特征在于，同一个外壳内并排设有两个混合罐(207)。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：李盼盼，吕芳毅，刘传龙，许程，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：