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本实用新型公开了一种晶圆片盒架的翻转限位机构及晶圆甩干机，该晶圆片盒架的翻转限位机构包括旋转架和片盒架，片盒架的一端开口，片盒架通过两根短轴能翻转地装配于旋转架上，两根短轴中至少有一根短轴的侧壁上开设有限位孔，配合限位孔于旋转架上安装有至少...
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