下载加工炉和加工方法的技术资料

文档序号:36740984

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一种回流焊炉包括限定外壳的加工室。该外壳包括主轴,其被构造成支撑衬底并使衬底围绕加工室的中心轴线旋转。主轴还被构造成沿中心轴线竖直移动,并且将衬底定位在外壳内的不同位置。炉还包括:化学品输送管,其被构造成将化学蒸气引导到外壳;灯组件,其被构...
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