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本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：室，所述室在侧壁处具有用于放入和取出基板的入口；支撑单元，所述支撑单元设置在所述室的内部并且支撑所述基板；成像单元，所述成像单元用于对由传送机械手通过所述入口放入的基板进行成像；以及控...
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