下载压电层叠体及压电元件的技术资料

文档序号:36739661

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本发明涉及压电层叠体及压电元件。本发明提供一种能够抑制压电特性的下降,且与以往相比能够更加抑制制造成本的压电层叠体及压电元件。压电层叠体及压电元件在基板上依次具备下部电极层和包含钙钛矿型氧化物的压电膜,下部电极层包括包含Ni的金属层和包含N...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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