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蒸镀掩模形成用转印膜及蒸镀掩模的制造方法技术
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文档序号:36739169
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本发明提供一种能够形成缺损少的抗蚀图案的蒸镀掩模形成用转印膜及其应用。一种蒸镀掩模形成用转印膜及其应用,该蒸镀掩模形成用转印膜依次包括:临时支承体;及感光性层,包含具有30mgKOH/g以上的酸值的聚合物。具有30mgKOH/g以上的酸值的...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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