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本发明涉及一种用于从气相进行流化床化学气相沉积的设备，允许在沉积过程中稳定流化床的温度，并且还涉及一种用于其实施的相关方法，设备的特征在于，其包括存在于进口区域中并且被构造为被气相穿过的多孔热绝缘体(40)，所述多孔热绝缘体具有在20℃下小...
该专利属于国家科学研究中心波尔多大学所有，仅供学习研究参考，未经过国家科学研究中心波尔多大学授权不得商用。

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