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一种喷砂后清洗设备制造技术
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下载一种喷砂后清洗设备的技术资料
文档序号:36737693
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本实用新型提供了一种喷砂后清洗设备,包括机架,以及依次按序设置在机架内的上料区、碱洗区、酸洗区和下料区;上料区设有对喷砂后的硅片进行上料的上料组件,上料组件上设有多组用于放置片篮的放置位,碱洗区设有对硅片进行碱洗的多个碱洗槽,酸洗区设有对碱...
该专利属于天津环博科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津环博科技有限责任公司授权不得商用。
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