下载半导体结构的制造方法的技术资料

文档序号:36736042

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本发明公开一种半导体结构的制造方法,包括以下步骤。提供基底。基底包括第一区与第二区。在第一区中的基底上形成第一介电层。在第二区中的基底上形成第二介电层。在第一介电层上形成第一栅极。在第二介电层上形成第二栅极。在第一栅极的侧壁上形成第一间隙壁...
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