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片上集成单光子源发光增强装置及其制备方法制造方法及图纸
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文档序号:36735730
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本公开提供一种片上集成单光子源发光增强装置及其制备方法,装置包括:芯片(2),用于在泵浦激光的激发下产生单光子;其中,芯片(2)包括复合折射率波导和涂覆在复合折射率波导上的单量子点,泵浦激光激发单量子点产生单光子;复合折射率波导包括叠加的第...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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