下载晶圆及其制作方法的技术资料

文档序号:36735444

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本发明涉及一种晶圆及其制作方法,所述晶圆的制作方法包括:提供外延基板,所述外延基板包括依次层叠的衬底、牺牲层及发光叠层,所述衬底包括临近设置的第一区域和第二区域;图案化所述发光叠层和所述牺牲层,以使所述第一区域的衬底露出,并保留位于所述第二...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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