下载单芯片上的多轴MEMS传感融合装置的技术资料

文档序号:36735279

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本发明提供一种单芯片上的多轴MEMS传感融合装置,其包括:磁传感器;三轴陀螺仪,其被设置的包围所述磁传感器,所述磁传感器和所述三轴陀螺仪设置于同一个芯片中。这样,由单一芯片加工集成磁传感器和三轴陀螺仪,可以节省芯片面积,降低成本。降低成本。...
该专利属于美新半导体(天津)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美新半导体(天津)有限公司授权不得商用。

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