下载利用光影观测固晶过程的方法的技术资料

文档序号:36733247

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本发明提供了一种利用光影观测固晶过程的方法,包括下列步骤:吸嘴吸取晶粒并位于基板上方;侧向光源的光线往晶粒的方向照射,使晶粒的光影投射在基板上;第一影像捕获设备撷取光影影像并将光影影像信息传送至控制装置;控制装置控制吸嘴往基板的方向移动;在...
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