下载半导体的粘接方法的技术资料

文档序号:36731586

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本发明涉及半导体制造技术领域,公开了一种半导体的粘接方法,包括:采用UV胶粘接半导体与基板,得到半导体制品;将所述半导体制品固定在处理室内的旋转台上;控制所述旋转台以预设转速进行旋转;控制所述处理室内的真空装置进行抽真空,使得所述处理室内的...
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