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本实用新型提出一种具有圆周定位结构的晶圆检测装置，包括支承装配组件、晶圆置放组件及晶圆感测组件，晶圆置放组件通过运动机构安装于支承装配组件上，运动机构包括横向平移组件及周向旋转组件，晶圆置放组件安装于周向旋转组件上，可携带晶圆片随周向旋转组...
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