下载一种晶棒PN型自动检测机构的技术资料

文档序号:36720932

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本实用新型提供一种晶棒PN型自动检测机构,包括支撑单元和测量单元,其中,所述支撑单元设有用于支撑晶棒的支撑座,并使晶棒的其中一个端面朝所述测量单元一侧设置;所述测量单元配置有探笔,所述探笔可沿第一方向和/或第二方向朝所述晶棒一侧移动。本实用...
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