一种晶棒PN型自动检测机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶棒PN型自动检测机构，包括支撑单元和测量单元，其中，所述支撑单元设有用于支撑晶棒的支撑座，并使晶棒的其中一个端面朝所述测量单元一侧设置；所述测量单元配置有探笔，所述探笔可沿第一方向和/或第二方向朝所述晶棒一侧移动。本实用新型专利技术一种晶棒PN型自动检测机构，可自动传送晶棒并使其稳定定位到被测位置；还可自动对晶棒进行对中调节，以使检测仪器的探头能精准对准晶棒端面，以获取稳定且准确的测试结果；整个机构自动化程度高，相互配合精准，运行稳定，检测效率高，最大限度地去除人工干扰。最大限度地去除人工干扰。最大限度地去除人工干扰。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒PN型自动检测机构


[0001]本技术属于晶棒质量检测设备
，尤其是涉及一种晶棒PN型自动检测机构。

技术介绍

[0002]现有晶棒P/N型检测是通过人工搬运晶棒，并将晶棒放置在某一工作台上，再通过P/N型检测仪手动对晶棒进行探测，然后再手动录入数据统计。这种人工操作的方式不仅效率低、错误率高、一致性较差，而且人工操作易疲劳尤其是对测量8寸、12寸等较大尺寸的晶棒时，人工搬运非常不便，危险性大。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种晶棒PN型自动检测机构，尤其是适用于不同晶棒尺寸的PN型自动检测，解决了由于现有技术中人工检测效率低、错误率高且搬运不方便的技术问题。
[0004]为解决至少一个上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种晶棒PN型自动检测机构，包括支撑单元和测量单元，其中，所述支撑单元设有用于支撑晶棒的支撑座，并使晶棒的其中一个端面朝所述测量单元一侧设置；所述测量单元配置有探笔，所述探笔可沿第一方向和/或第二方向朝所述晶棒一侧移动。
[0006]进一步的，所述支撑座本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒PN型自动检测机构，其特征在于，包括支撑单元和测量单元，其中，所述支撑单元设有用于支撑晶棒的支撑座，并使晶棒的其中一个端面朝所述测量单元一侧设置；所述测量单元配置有探笔，所述探笔可沿第一方向和/或第二方向朝所述晶棒一侧移动。2.根据权利要求1所述的一种晶棒PN型自动检测机构，其特征在于，所述支撑座沿晶棒长度方向间隔设置，其上端面配置有与晶棒外壁面接触的凹槽，所述凹槽被构造为钝角结构。3.根据权利要求1或2所述的一种晶棒PN型自动检测机构，其特征在于，所述支撑单元还包括移动台及用于控制所述移动台沿第三方向移动的导轨组一，所述支撑座贯穿所述移动台设置。4.根据权利要求3所述的一种晶棒PN型自动检测机构，其特征在于，在所述移动台上还设有一组相对设置的辊轴，所述辊轴的两端分别与所述移动台上的基座连接。5.根据权利要求4所述的一种晶棒PN型自动检测机构，其特征在于，所述支撑座被设置在所述辊轴之间。6.根据权利要求4或5所述的一种晶棒PN型自动检测机构，其特征在于，在所述移动台下方还设有用于控制所述支撑座沿第二方向上下移动的驱动件。7.根据权利要求6所述的一种晶棒PN型自动检测机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，回景旺，吕原杰，李博，王毅，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：