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本实用新型属于半导体晶片制造技术领域，具体涉及一种晶圆甩干设备，包括箱体、设备门、第一感应器、第二感应器、电机、传动层、工作层和送风夹层，所述箱体外壁设置有暖风机、控制器，所述第一感应器和第二感应器能检测置物篮与设备门状态，第一感应器、第二...
该专利属于威科赛乐微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威科赛乐微电子股份有限公司授权不得商用。

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