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本实用新型公开了一种真空腔体用升降装置及系统，属于真空镀膜领域。包括支撑机构以及升降机构，支撑机构设置在腔体内部，支撑机构下端固定连接升降机构，支撑机构包括上平台、密封件以及导向柱，密封件设置在升降机构与支撑机构连接处，密封件上设有导向柱，...
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