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本实用新型属于光刻机技术领域，公开了一种气浮找平机构，包括底座，底座上竖直均布有三个气缸，气缸的杆端放置有浮动板，每个气缸的一侧均竖直设有导向轴，导向轴与底座活动连接，底座内设有用于锁定导向轴的活塞杆，导向轴和浮动板之间设有拉簧。本实用新型...
该专利属于四川鸿源鼎芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川鸿源鼎芯科技有限公司授权不得商用。

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