下载微型发光芯片阵列结构及其制备方法、掩膜版的技术资料

文档序号:36710531

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本发明实施例公开了一种微型发光芯片阵列结构及其制备方法、掩膜版,其中微型发光芯片阵列结构制备方法包括如下步骤:提供基片,基片包括多个微型发光芯片;于基片的表面设置保护层;对基片进行刻蚀得到至少一条切割道,至少一条切割道将多个微型发光芯片分隔...
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