下载一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法的技术资料

文档序号:36709664

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本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法,所述装置包括:取样腔,所述取样腔内设有样品夹具;第一分子泵,入气口与所述取样腔连接;第一机械泵,与所述第一分子泵的抽气口连接;第一全量程真空计,与所述取样腔连接;质谱分析腔,与所述取样腔通...
该专利属于北京东方计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京东方计量测试研究所授权不得商用。

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