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本发明公开了一种用于前驱体固体源的钢瓶，包括：固体源钢瓶主体，固体源钢瓶主体连接有加热控温系统；所述的源钢瓶主体内部设有载气通道，所述的载气通道侧壁设有朝向固体源钢瓶底部并连通外界的开口，所述的载气通道由中心向外侧等间距螺旋布置；所述的加热...
该专利属于浙江陶特半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江陶特半导体材料有限公司授权不得商用。

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