下载CVD反应中金属熔体自动给料装置的技术资料

文档序号:36707093

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本实用新型公开了CVD反应中金属熔体自动给料装置,包括反应炉,反应炉内底部设置坩埚,坩埚上部配置CVD反应室,CVD反应室底部开设喷嘴反应炉连接真空泵B,坩埚上垂直连接管道,管道上连通漏斗,漏斗内放置若干固体金属球,漏斗底部设置球阀。本实用...
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