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一种离子枪的开关结构，涉及刻蚀设备领域。用于改善刻蚀设备的发射口，所述发射口上方覆盖有分流板，分流板包括若干发射通道，所述分流板上方设有基板，基板设有若干发射通孔，发射通孔与发射通道对应设置，至少一个发射通孔设有反应开关。本实用新型进一步增...
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