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带有弯曲形阵列共面电极的芯层波导制造技术
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下载带有弯曲形阵列共面电极的芯层波导的技术资料
文档序号:36706166
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本发明公开了一种带有弯曲形阵列共面电极的芯层波导,其包括:衬底层;第一掩膜板以及第二掩膜板;所述第一掩膜板与所述第二掩膜板间隔设置在所述衬底层上,并于间隔处形成波导槽;波导芯层,设置在所述波导槽的底部;第一偏转电极,设置在波导槽内,并位于所...
该专利属于暨南大学所有,仅供学习研究参考,未经过暨南大学授权不得商用。
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