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本发明提供了一种真空腔体密封测温装置和晶圆加工设备，涉及测温技术领域，该真空腔体密封测温装置包括热电偶固定座、热电偶固定帽、热电偶本体、第一密封圈和第二密封圈，热电偶固定座可拆卸地安装在真空腔壁上；第一密封圈环设在热电偶本体周围，且第一密封...
该专利属于无锡邑文电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡邑文电子科技有限公司授权不得商用。

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