温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种涂胶显影机的硅片支托装置，该硅片支托装置安装于硅片转移机械手的执行端上，所述硅片支托装置包括固定于所述执行端上的支托环，该支托环成开口状，所述支托环上设置有至少两层安装面，各安装面构成台阶状，每层安装面上安装有至少三个支...
该专利属于如东汇盛通半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过如东汇盛通半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。