温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种涂胶显影机的涂胶装置，所述旋转主轴外部套装固定有固定套，所述旋转主轴的上端从固定套中露出且，所述旋转主轴上还固定有清洗盘，所述清洗盘处于真空吸盘的下方，所述清洗盘上设置有清洗液喷淋环槽，所述清洗盘的侧壁上设置有与清洗液喷...
该专利属于如东汇盛通半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过如东汇盛通半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。