下载功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪及测试方法的技术资料

文档序号:36703684

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本发明涉及一种功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪及测试方法,用于实现功率半导体器件的输入电阻、输入电容、输出电容、反向电容在不同直流偏置电压条件下的多通道扫描测试,包括控制电路、LCR测试电路、栅极偏压电路、漏极偏压电路及多通道隔离开关...
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